Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
SPIE proceedings
сборник
Год издания:
2016
Серия:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography
Том:
9778
Добавил в систему:
Кобельков Сергей Георгиевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2016
Controlling bridging and pinching with pixel-based mask for inverse lithography
Кобельков С.Г.
,
Tritchkov Alexander
,
Han JiWan
в сборнике
SPIE proceedings
, серия
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography
, том 9778, с. 1-9
DOI