Физические основы ионно-лучевого легирования. Тезисы докладов научной конференциисборник
-
Год издания:
1971
-
Место издания:
Горьковский исследовательский физико-технический институт Горький
-
Сборник тезисов
-
Добавил в систему:
Эльтеков Виталий Анатольевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
1971
Расчет профиля распределения ионов бора, внедренных в монокристалл кремния, методом численного моделирования
-
Эльтеков В.А.,
Карпузов Д.С.,
Мартыненко Ю.В.,
Рубаха Е.А.,
Симонов В.А.,
Юрасова В.Е.
-
в сборнике Физические основы ионно-лучевого легирования. Тезисы докладов научной конференции, место издания Горьковский исследовательский физико-технический институт Горький, тезисы, с. 7-7