2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники». Тезисы докладовсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2017 Количественный анализ наноструктуры аморфной фазы SiO2
  • Соколов В.Н., Чернов М.С., Разгулина О.В., Юрковец Д.И.
  • в сборнике 2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники». Тезисы докладов, место издания «Богородский печатник» Черноголовка, тезисы, с. 113-113
• • 2017 Количественный анализ структур от макро- до наноуровня
  • Соколов В.Н., Чернов М.С., Разгулина О.В., Денисова Л.Г., Юрковец Д.И., Кузнецов Р.А.
  • в сборнике 2-й Международный форум «Техноюнити – Электронно-лучевые технологии для микроэлектроники». Тезисы докладов, место издания «Богородский печатник» Черноголовка, тезисы, с. 119-119