Proceedings - Electrochemical Society, Chemical Vapor Deposition & EUROCVD Conference, A. Devi, R. Fischer, H. Parala, M. D. Allendorf, M. Hitchman (Eds.),сборник
Статьи, опубликованные в сборнике
2005
Zirconium pivalate as a new precursor for ZrO2 thin film deposition
Kuzmina N.P. ,
Altsybeev A.E. ,
Korsakov I.E. ,
Malkerova I.P. ,
Alikhanyan A.S.
в сборнике Proceedings - Electrochemical Society, Chemical Vapor Deposition & EUROCVD Conference, A. Devi, R. Fischer, H. Parala, M. D. Allendorf, M. Hitchman (Eds.), , серия Proceedings Volume 2005-09. 15-th European Conference on Chemical Vapor Deposition, EUROCVD-15, Bochum, Germany; 5-9.September 2005 , место издания Electrochemical Society, Inc United States , с. 968-974