ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ФНКЦ РР |
||
Объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий, зондовой микроскопии, рентгеновской оптики и их применений в наноструктурировании поверхности, литографии и получении материалов для микро- и наноэлектроники. Конференция проводится при поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, грант N 075-15-2020-791. Организаторы: ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка и АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград. Даты проведения: С 13 по 17 сентября 2021 года. Место проведения. г. Черноголовка, Московская обл., ул. Академика Осипьяна д. 6, ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН).