ИСТИНА

• Охват: Международная
• Даты проведения: 2014
• Место проведения: Россия, Звенигород, Russia
• Описание конференции:

  Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2014" (ICMNE-2014), включающая расширенную сессию "Квантовая информатика" (QI-2014). Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2014 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет работать выставка, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектронных применений.

• Добавил в систему: Зотович Алексей Иванович

Доклады:

• 2014 Comparative analysis of the factors leading to low-k degradation during the integration process (Устный)
• Авторы: Zotovich A., Baklanov M.R., Lazzarino F., Krishtab M.

• 2014 The chemistry screening for ultra low-k dielectrics plasma etching (Устный)
• Авторы: Krishtab M., Baklanov M.R., Lazzarino F., Zotovich A.