![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
На базе ускорителя HVEE на 500 кэВ создана экспериментальная линия, позволяющая проводить ионную имплантацию и изучать создаваемые структуры методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием. Проведены эксперименты по внедрению тяжелых ионов Xe в монокристаллический кремний (110) с энергиями в диапазоне 100 300 кэВ и дозами порядка 10^14 ион/см^2 при комнатной температуре. Облучение проводилось в направлении главной кристаллографической оси и в направлении, не содержащем выделенных каналов. В работе представлены результаты изучения влияния направления имплантации, дозы и энергии внедряемых ионов на профиль распределения примеси, а также профиль распределения радиационностимулированных дефектов методом резерфордовского обратного рассеяния. Рассматривался процесс разориентации кристаллической решетки под воздействием ионного облучения в зависимости от параметров пучка и направления облучения. Представлено сравнение полученных экспериментальных результатов с моделированием рассматриваемых процессов в программах, позволяющих учесть параметры эксперимента.