|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разрядадоклад на конференции
- Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Павлов В.Б., Неклюдова П.А., Кралькина Е.А.
- Международная Конференция : XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г.
- Даты проведения конференции: 2014
- Дата доклада: 13 февраля 2014
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: г. Звенигород
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна