ИСТИНА

Исследованы структурные и электронные свойства тонких пленок гидрогенезированного полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения смеси газов водорода (H2) и моносилана (SiH4). Определено, что исследованные пленки состоят из аморфной фазы, содержащей кремниевые нанокристаллические включения со средним размером порядка 4-5 нм и объемной долей 10 %. Впервые методом ЭПР спектроскопии в пленках гидрогенезированного полиморфного кремния обнаружен сигнал, приписываемый электронам, захваченным в хвост зоны проводимости микрокристаллического кремния. Показано, что введение в пленки аморфного кремния небольшой доли нанокристаллов неаддитивным образом изменяет электронные свойства материала.