|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Dependence of dielectric constant of hydrocarbon bridged low-k films on porosityдоклад на конференции
- Авторы: Palov A., Wei Sh, Baklanov M.
- Международная Конференция : International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018)
- Даты проведения конференции: 1-5 октября 2018
- Дата доклада: 4 октября 2018
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Звенигород, Московская область, Russia
-
Аннотация доклада:
The porous hydrocarbon bridged low-k films are now considered as the perspective materials for advanced interconnectors technology because of their exceptional elastic stiffness predicted by molecular dynamics calculations. To the moment, there is no theoretical calculations of dielectric constants (DC) for such materials in literature and we decided to predict these values on base of our numerical approach developed recently.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Палов Александр Петрович