Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Changing of oxygen plasma parameters in RF discharge over photoresist surfase
доклад на конференции
Авторы:
Malyarov A.V.
, Gordeev A.I.,
Yakunin V.G.
,
Savinov V.P.
,
Riaby V.A.
Локальная Конференция :
IX Europ. Sect. Conf. Atom. Molecul. Phys. Ionised Gases
Даты проведения конференции:
20-22 июля 1988
Дата доклада:
20 июля 1988
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
не указан
не указан
Malyarov A.V.
Gordeev A.I.
Yakunin V.G.
Savinov V.P.
Riaby V.A.
Место проведения:
Lisbon, Portugal
Добавил в систему:
Савинов Владимир Павлович