|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Газодинамическая защита процессов и объектов микроэлектроники от внешних контаминацийдоклад на конференции
- Авторы: Веденеев В.В., Решмин А.И., Трифонов В.В., Зайко Ю.С., МАРКИН А.В., Тепловодский С.Х.
- Международная Конференция : Международный форум «Микроэлектроника-2018» 4-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули»
- Даты проведения конференции: 1-6 октября 2018
- Дата доклада: 1 октября 2018
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Республика Крым, г. Алушта, Russia
-
Аннотация доклада:
Разработана технология формирования затопленных струй воздуха круглого поперечного сечения, остающихся однонаправленными на длине, равной 5 – 6 диаметрам струи, при достаточно больших числах Рейнольдса (~ 2000 – 13000). Показана эффективность защиты объектов микроэлектроники, находящихся в подобных струях, от воздействия окружающей среды. Разработанная технология может быть использована для создания локальных чистых зон, не ограниченных твёрдыми стенками, в производстве микроэлектроники.
- Доклад на конференции выполнен в рамках проекта (проектов):
- Добавил в систему: Трифонов Владимир Викторович