|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Прозрачные электроды на основе диоксида олова, допированного сурьмой.доклад на конференции
- Авторы: Петухов И.А., Паршина Л.С., Зуев Д.А., Гаськов А.М., Путилин Ф.Н., Шатохин А.Н., Румянцева М.Н., Новодворский О.А.
- Всероссийская Конференция : XII конференция молодых ученых «Актуальные проблемы неорганической химии: наноматериалы и материалы для энергетики»
- Даты проведения конференции: 2012
- Дата доклада: 10 ноября 2012
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Петухов И.А.
- Место проведения: 9 -11 ноября 2012, г. Звенигород Московской обл.
-
Аннотация доклада:
Синтез тонких пленок SnO2:Sb был осуществлен методом импульсного лазерного осаждения (эксимерный KrF-лазер, λ = 248 нм). Образцы были исследованы методами оптической спектроскопии, эллипсометрии, РФЭС-спектроскопии. Удельное сопротивление пленок, подвижность и концентрация носителей заряда были измерены четырехзондовым методом в квадратной геометрии контактов с использованием эффекта Холла. Полученные тонкие пленки SnO2:Sb обладают низким удельным сопротивлением (ρ ~ 10-3 Ом·см) и высокой оптической прозрачностью (~85%) в диапазоне 400-800 нм. Максимум электрической проводимости наблюдается для пленок, полученных из мишени состава Sb/(Sn+Sb) = 2 ат. %, парциальном давлении кислорода 40 мТорр и температуре подложки в процессе осаждения 300°С. Методом РФЭС-спектроскопии установлено, что преобладающее зарядовое состояние сурьмы при вышеуказанных условиях–Sb5+.
- Добавил в систему: Шатохин Анатолий Николаевич