|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Очистка поверхности кремневых пластин от фоторезиста в производстве интегральных схем доклад на конференции
- Авторы: Колесник В.В., Попович М.П., Ткаченко С.Н., Сотников В.С.
- Международная Конференция : Вторая Всесоюзная конференция «Озон. Получение и применение»
- Даты проведения конференции: 2-6 сентября 1991
- Дата доклада: 6 сентября 1991
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
- Добавил в систему: Ткаченко Сергей Николаевич