ИСТИНА

Тонкие пленки, напыленные почти параллельно к подложке (glancing angle deposition, GLAD), обладают высокой пористостью и низким показателем преломления, что позволяет использовать их, в частности, в антибликовых покрытиях [1,2]. В настоящее время развитие технологий суперкомьютерного моделирования позволяет исследовать зависимость свойств GLAD-пленок от условий напыления в рамках классических атомистических методов. Размеры кластеров могут достигать несколько десятков нанометров, что близко к технологическим толщинам одного слоя (четверть длины волны видимого света в среде) многослойного оптического покрытия. Ранее на основе разработанного атомистического метода моделирования процесса напыления тонких пленок [3] было проведено исследование свойств GLAD-пленок от угла между направлением потока осаждаемых атомов и нормали к подложки (угол напыления, deposition angle) и других параметров [4]. В настоящей работе исследуются напыление чередующихся слоев с высокой и низкой плотностью, эффекты анизотропии, структурные и механические свойства GLAD-пленок и пленок с чередующимися слоями. Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ, грант 19-11-00053.