ИСТИНА

Дисперсионные силы в вакууме (или газе) начинают играть важную роль, когда взаимодействующие тела разделены расстояниями менее 100 нм. Такие небольшие зазоры характеризуют современные микро- и наноэлектромеханические системы (МЭМС/НЭМС). Хотя силы были надежно измерены и сопоставлены с теорией в диапазоне 30-100 нм, серьезные проблемы возникают на расстояниях короче 30 нм. Информация о силах в этом диапазоне расстояний очень важна для понимания и контроля адгезии между естественно шероховатыми телами. Экспериментально исследовать малые расстояния трудно из-за потери устойчивости. Теоретически трудно предсказать силы, когда шероховатость поверхности становится сравнимой с расстоянием между телами. Предложен новый метод измерения сил на малых расстояниях, близких к контакту. Метод основан на форме залипшего кантилевера. Такой кантилевер не страдает от потери устойчивости, а его форма несет информацию как об энергии адгезии, так и о силе, действующей вблизи адгезионной области. Описаны задачи, связанные с проведением такого рода экспериментов. Целью работы является измерение силы между различными материалами с различной статистикой шероховатости в диапазоне расстояний 5-30 нм с точностью до 5%. Полученные результаты будут иметь как фундаментальное, так и технологическое значение, поскольку они обеспечивают понимание адгезии между естественно шероховатыми поверхностями и проясняют роль дисперсионных сил в этом явлении.