ИСТИНА

С уменьшением размера и шага выводов интегральных схем актуальным становится формирование контактных структур методом электрохимического осаждения непосредственно на контактных площадках. При последовательном монтаже компонентов микросборок интерес представляют припои с возможностью формирования паяных соединений, имеющих различную температуру деградации, определяемую составом припоя и возможными фазовыми превращениями. В работе исследованы процессы электрохимического осаждения систем Sn-Ag и In-Ag с содержанием легкоплавкого компонента 15,25 и 35%, а также Sn-Ni и In-Ni с содержанием легкоплавкого компонента 20 и 45%. Составы образцов выбраны на основе диаграмм состояния и соответствуют различным областям возможных фазовых переходов при плавлении осажденного материала. Для возможности изучения термического поведения и фазовых превращений в сформированных системах в качестве экспериментальных образцов использовалась проволока из тугоплавкого компонента, на которую осаждался легкоплавкий материал. В целях предотвращения плавления припоя на поверхности и более равномерного взаимодействия компонентов структуры проводилось финишное электрохимическое покрытие экспериментальных образцов тугоплавким материалом.