|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Планаризация поверхности материалов электронной техники пучками газовых кластерных ионовдоклад на конференции
- Авторы: Вяткин А.Ф., Иешкин А.Е., Черныш В.С., Ермаков Ю.А., Шемухин А.А.
- Всероссийская с международным участием Конференция : VI Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации»
- Даты проведения конференции: 24-27 октября 2016
- Дата доклада: 24 октября 2016
- Тип доклада: Приглашенный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Нижний Новгород, Russia
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович