|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ ПОВЕДЕНИЕ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ КРЕМНИЯдоклад на конференции
- Авторы: Авдюхина В.М., Хрущов М.М., Левин И.С., Кашуркин Е.В., Суляндзига Д.А.
- Локальная Конференция : Ломоносовские чтения - 2020. Секция Физики
- Даты проведения конференции: 1-30 октября 2020
- Дата доклада: 23 октября 2020
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Представлены результаты комплексного исследования структурного состояния, химического состава, микромеханических и трибологических свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней.
- Добавил в систему: Авдюхина Валентина Михайловна