ИСТИНА

Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) является эффективным методом для изучение микроструктуры и состава образца, а также линейных размеров особенностей рельефа. Однако, в силу устройства сканирующего электронного микроскопа, получение информации о структуре образца вдоль третьей оси значительно затруднено. Это не только осложняет интерпретацию снимков, полученных с помощью СЭМ, но и неизбежно накладывает ограничения на изучение рельефа материала. В докладе будет описана новая методика, позволяющая получать информацию о трехмерной структуре образца с помощью СЭМ в режиме детектирования отраженных электронов. Предложенный метод полагается на предварительное восстановление зависимостей интенсивности сигнала от угла наклона участка поверхности образца с заведомо известной геометрией. Применение созданного метода не требует значительной модификации экспериментальной установки, что облегчает её внедрение в рабоче-экспериментальный процесс. Наряду с возможностью восстановления субмикронного рельефа, эксперименты показали эффективность, надежность и быстроту метода [1, 2]. References 1. A.A. Borzunov, V.Y. Karaulov, N.A. Koshev, D.V. Lukyanenko, E.I. Rau, A.G. Yagola, and S.V. Zaitsev. 3D surface topography imaging in SEM with improved backscattered electron detector: Arrangement and reconstructionalgorithm. - Ultramicroscopy 207 (2019), 112830. 2. A.A. Borzunov, D.V. Lukyanenko, E.I. Rau, and A. G.Yagola. Reconstruction algorithm of 3D surface in scanning electron microscopy with backscattered electron detector. – Journal of Inverse and Ill-Posed Problems (2020) (in print)