|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devicesдоклад на конференции
- Авторы: Myakonkikh A., Shishlyannikov A., Tatarintsev A., Kuzmenko V.O., Rudenko K., Gornev E.
- Международная Конференция : ICMNE-2021
- Даты проведения конференции: 4-8 октября 2021
- Дата доклада: 5 октября 2021
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: г. Звенигород, РФ, Russia
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич