|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Фемтосекундная лазерная запись функциональных поверхностно-периодических структур большой площади на пленках аморфного кремниядоклад на конференции
- Авторы: Данилов П.А., Кузьмин Е.В., Шулейко Д.В., Заботнов С.В., Кудряшов С.И.
- Всероссийская Конференция (Семинар (workshop)) : IV семинар "Современные нанотехнологии" (IWMN-2022)
- Даты проведения конференции: 24-27 августа 2022
- Дата доклада: 26 августа 2022
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Екатеринбург, Russia
-
Аннотация доклада:
В настоящем докладе представлены особенности формирования ЛИППС на поверхности пленок аморфного кремния толщиной до 1 мкм при воздействии фемтосекундными (300 фс) лазерными импульсами с длиной волны 1030 нм с изменением энергии и числа импульсов (N=1-1000) лазерного излучения. Полученные структуры проанализированы методами растровой электронной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии с целью нахождения оптимальных режимов фотовозбуждения пленок. Также в настоящей работе продемонстрирована высокопроизводительная запись субволновых ЛИППС хорошего качества и большой площади (1×1 мм2) при помощи высокоскоростных гальваносканеров. Анализ модифицированных областей методами конфокальной спектроскопии комбинационного рассеяния показывает наличие кристаллической фазы кремния после воздействия фемтосекундных лазерных импульсов
- Добавил в систему: Данилов Павел Александрович