ИСТИНА

Данная работа посвящена получению тонких пленок ε-Fe2O3 методом химического осаждения из газовой фазы с использованием металлорганических прекурсоров (MOCVD). На каждой из выбранных в работе монокристаллических подложек (STO (111), YSZ (100) и c-Al2O3) были получены ориентированные тонкие плёнки ε-Fe2O3. Показано, что на STO (111) и YSZ (100) образование целевого продукта происходит при повышенных температурах, а на c-Al2O3 – при пониженных, что связано с разным механизмом роста тонких пленок на этих подложках. Сделан вывод о том, что наиболее подходящей монокристаллической подложкой для образования фазы ε-Fe2O3 является STO (111). Кроме этого, установлено, что в зависимости от выбранной подложки, температуры напыления и скорости подачи прекурсора можно получать ориентированные плёнки: α-Fe2O3 (001), γ-Fe2O3 (111) и ε-Fe2O3 (001). По итогу исследования фазового состава всех полученных пленок в зависимости от температуры напыления и скорости подачи прекурсора были составлены карты образующихся полиморфов Fe2O3 для каждой из подложек.