|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков ионами низкой энергиидоклад на конференции
- Автор: Соловых А.А.
- Международная Конференция : XXX Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «Ломоносов-2023». Секция «Физика»
- Даты проведения конференции: 10-21 апреля 2023
- Дата доклада: 11 апреля 2023
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Соловых А.А.
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич