ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ФНКЦ РР |
||
Проведено исследование образцов алмазоподобных углеродных покрытий, легированных хромом, полученные с помощью технологии магнетронного распыления в активных газовых средах. Изучалось влияние особенностей нанесения покрытий (состава атмосферы напыления) на их фазовый состав и тонкую атомную структуру.