ИСТИНА

Свойства тонких пленок из TiO2, приготовляемых методами, которые получили названия в зарубежной литературе, как «pulsed laser deposition» (PLD) и «plasma assisted pulsed laser deposition» PA-PLD, зависят от условий их выращивания: теплофизических свойств мишени, интенсивности лазерного излучения, давления внешней атмосферы, температуры подложки и т.д. Испарение материала мишени с высоким показателем преломления под воздействием лазерного излучения носит сложный характер, и это явление является малоизученным. В настоящей работе исследуется временная эволюция концентрации электронов, функций распределения атомов (ФРА) и ионов (ФРИ) титана по возбужденным электронным состояниям в лазерно- индуцированной плазме (ЛИП) методами эмиссионной спектроскопии с пространственным и временным разрешением. ЛИП генерируется в результате взаимодействия излучения эксимерного лазера с мишенями из TiO и TiO2 и исследуется в вакууме либо в атмосфере кислорода при наличии и без плазмы ВЧ-разряда. Для интерпретации результатов измерений предлагается столкновительно-излучательная модель, описывающая поуровневую кинетику атомов и ионов титана Ti на различных стадиях разлета ЛИП в процессе и после окончания действия лазерного излучения на мишень. Показано, что предлагаемый способ возбуждения плазмы ВЧ-разряда в камере PLD позволяет заметно улучшить качества осаждаемых пленок – их стехиометрию, морфологию поверхности и увеличить скорость их выращивания.