|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Experimental investigation of powder formation in SiF4-H2 and SiH4-H2 R.F. dischargesдоклад на конференции
- Авторы: Cicala G., Bruno G., De Pascale O., Shakhatov V.A.
- Международная Конференция : ESCAMPIG XIVth, Dublin (14-18 July, Ireland)
- Даты проведения конференции: 14-18 июля 1998
- Дата доклада: 14 июля 1998
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Cicala G.
- Место проведения: Дублин, Ireland
- Добавил в систему: Шахатов Вячеслав Анатольевич