ИСТИНА

Для создания нанопокрытий, которые широко используются в современной оптике, необходимы технологии их точного напыления. В данной работе рассматривается одна из них – напыление покрытия с непрямым контролем: одновременно с целевым покрытием напыляются пары слоев, по оптическим характеристикам которых и ведётся контроль. Именно, решается обратная задача по определению реальных скоростей напыления и толщин покрытия по данным контроля – зависимости коэффициента отражения от времени R(t). Задача осложняется тем, что в измерениях присутствуют как случайная, так и весьма значительная систематическая ошибка. Кроме того, первые секунды напыления процесс нелинейный и не поддается моделированию. Предлагаются постановки, позволяющие справиться с этими трудностями, основанные на минимизации невязки функции R(t) и её производной с теоретическими значениями. Соответствующие алгоритмы можно использовать для калибровки процесса напыления и увеличения качества изготавливаемых покрытий.