|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Numerical Simulation of Capacitively Coupled RF Discharges in a Low Frequency Regimeдоклад на конференции
- Авторы: Shishkin A.G., Shishkin G.G., Smirnov A.P.
- Международная Конференция : XXI International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG)
- Даты проведения конференции: 1993
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: Shishkin A.G.
- Место проведения: Bochum, Germany, Germany
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич