ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ФНКЦ РР |
||
Исследованы структурные и электрофизические свойства пленок из аморфного гидрогенизированного кремния, модифицированных фемтосекундными лазерными импульсами. Обнаружено формирование поверхностных периодических структур и полиморфных модификаций кремния в данных пленках при фемтосекундной лазерной обработке. Обнаружена также анизотропия проводимости, объясняемая неравномерной нанокристаллизацией пленок и деполяризующим влиянием сформированного микрорельефа.