|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Взаимодействие озона с поверхностью диэлектрика в условиях обработки плазмойдоклад на конференции
- Авторы: Корса С.Я., Ткаченко И.С., Ткаченко С.Н., Лопаев Д.В.
- Всероссийская с международным участием Конференция : 34-ая Всероссийская конференция по озону «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии»
- Даты проведения конференции: 29-30 июня 2016
- Дата доклада: 29 июня 2016
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Корса С.Я.
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
В настоящей работе изучена гибель озона на поверхности кварца при его взаимодействии с атомами кислорода на поверхности. Установлен слабый эффект образования озона на поверхности в реакции молекулы с хим. адсорбированным атомом кислорода. Произведены оценки констант скоростей, энергии активации реакций синтеза и гибели озона.
- Добавил в систему: Ткаченко Сергей Николаевич