|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Experimental and computational thickness determination of ultra-thin surface films using backscattered electrons spectra in SEM.доклад на конференции
- Авторы: Kupreenko S., Orlikovsky N., Tatarintsev A., Tagachenkov A., Rau E.
- Международная Конференция : International conference «Micro- and Nanoelectronics - 2014» (ICMNE-2014)
- Даты проведения конференции: 2014
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Rau E.
- Место проведения: Moscow-Zvenigirod, Russia, Russia
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович