Аннотация:В результате выполнения работы получены следующие новые результаты:
Методом КР в образцах обоих типов, полученных методом эндотаксии, обнаружено наличие кристаллической фазы карбида кремния кубической модификации(3С). Справедливость этих результатов подтверждена методом дифракции рентгеновских лучей.
Показаны преимущества оптических методов обнаружения тонких наноструктур карбида кремния.
Получена оценка концентрации свободных носителей зарядов по положению плазменного минимума N ~ 10^{19} см^{-3}