Разработка комплекса заданий для лабораторных работ по дисциплине «Методы диагностики и испытание изделий в нанотехнологиях»дипломная работа (Бакалавр)
Аннотация:Данная выпускная квалификационная работа посвящена созданию демонстрационных лабораторных работ по курсу «Методы диагностики и испытание изделий в нанотехнологиях». Были разработаны три лабораторные работы по темам: «микроскопия», «спектроскопия», «эллипсометрия». Для выполнения лабораторной работы по эллипсометрии был разработан расчётный модуль, также была проведена апробация этой работы.
Во введении обосновывается актуальность выбранной темы, формулируются цели и задачи данной работы. Литературный обзор посвящен изучению сведений о эллипсометрии и электронно-зондовых методах анализа, рассматривается актуальность и применение эллипсометрии, электронной микроскопии и спектроскопии. В расчётно-теоретической части приведены уравнения однослойной модели, разработан расчётный модуль в EXCEL по эллипсометрии, демонстрационные варианты лабораторных работ по эллипсометрии, электронной микроскопии, спектроскопии и методики их выполнения. Также проведена апробация задачи по эллипсометрии.
Объем работы составляет 64 страницы. Она содержит 28 рисунка, 1 таблицу, 32 литературный источник и 2 приложения.