Исследование структурного состояния и функциональных характеристик упрочняющих покрытий, полученных магнетронным распылением в смеси реактивных газовдипломная работа (Магистр)
Аннотация:Проведено комплексное исследования структурно-фазавоых характеристик покрытий, полученных магнетронным распылением кремния и хрома в смеси активных газов, и рассматриваются их трибологические свойства в зависимости от состава рабочей атмосферы при их получении.