Аннотация: При получении алмазоподобных покрытий (АПП) ставится задача получить материал покрытия со свойствами, близкими к свойствам алмаза. Для достижения этого необходимо создать материал со структурой, в которой доля sp3- связей увеличена по сравнению с тем, что наблюдалось для графита. Такое увеличение можно получить как путем подбора металлов при легировании АПП, так и путем высокоэнергетических воздействий на поверхность растущего слоя покрытия, для чего в настоящее время используются различные методы вакуумных ионно-плазменных технологий.
Покрытия, легированные карбидообразующими переходными металлами, в частности, хромом, вольфрамом и молибденом должны обладать высокими функциональными свойствами. Именно для таких покрытий были проведены комплексное исследование (рентгеновская дифрактометрия, растровая электронная микроскопия, микрорентгеноспектральный анализ, спектроскопия комбинационного рассеяния).
Было установлено, что нанокомпозитная структура алмазоподобных покрытий, легированных хромом, фазовый состав которых включает в себя ультрадисперсные включения фазы металлического хрома, его фазы внедрения и матрицу на основе аморфного гидрогенизированного углерода, приводит к их высоким трибологическим и механическим свойствам, тогда как рентгеноаморфная структура, в которой отсутствуют сколько-нибудь протяженные области с дальним порядком,покрытий a-C:Н:W и a-C:H:Mо:Si ответственна за достаточно низкие трибологические характеристики таких АПП.