Аннотация:Работа посвящена численному исследованию интегральных оптических метаповерхностей на основе материалов с фазовым переходом в кремниевых волноводных структурах. Использование материалов с фазовым переходом открывает широкие возможности для перестройки оптических свойств наноструктур уже после изготовления, что делает их особенно привлекательными для прикладных задач современной фотоники. Среди них можно отметить задачи нейроморфных оптических вычислений, где материалы с фазовым переходом часто используются для реализации функции энергонезависимой памяти.
В рамках представленной работы рассмотрены интегральные метаповерхности в виде массива наноотверстий в пластине кремния на изоляторе (КНИ), которые заполняются различными материалами с фазовым переходом. Были подобраны оптимальные геометрические параметры структуры, численно показана возможность изменения фокусного расстояния интегральной металинзы при переключении фазового состояния материала наноантенн. Также была спроектирована и исследована структура градиентной метаповерхности для отклонения проходящего излучения с помощью сфазированной линейки наноантенн.