|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Структурные особенности кремниевых поверхностей, облученных фемтосекундными лазерными импульсамидипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Заботнов С.В.
- Автор: Ластовкина Мария Анатольевна
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2007
- Аннотация: Работа посвящена проблеме формирования на поверхности кремния нано- и микроструктур под воздействием мощных фемтосекундных лазерных импульсов. Основные результаты работы: 1. Отработана технология модификации структурных свойств поверхности кристаллического кремния с использованием фемтосекундного лазерного излучения. 2.На облученных фемтосекундными лазерными импульсами кремниевых поверхностях методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии зарегистрированы упорядоченные микроструктуры с характерным периодом, близким к длине волны лазерного излучения: поверхностные решетки, возникающие в результате интерференции падающего излучения с рассеянным. 3.Обнаружены поверхностные наноструктуры с высотой от 7 нм до 200 нм, возникающие в результате неравновесных процессов фемтосекундной лазерной абляции и агрегации аблировавших атомов кремния в наночастицы в окружающей атмосфере. 4.Выявлены основные закономерности формирования поверхностных нано- и микроструктур под действием фемтосекундного лазерного излучения при различных временах экспозиции, давлениях окружающего воздуха, плотностях энергии и длинах волн лазерных импульсов.
- Добавил в систему: Заботнов Станислав Васильевич