Влияние добавок хлоридов металлов на параметры процесса лазерно-индуцированного осаждения меди из водного раствора, состав и свойства металлических осадковдипломная работа (Магистр)
Аннотация:В ходе работы удалось достичь поставленных целей:
• снижено сопротивление осажденных металлических дорожек;
• повышена скорость осаждения до трех раз;
• осаждены медные дорожки с содержанием кальция, кобальта, никеля и
цинка.
Было обнаружено, что при оптимальных условиях осаждения (10 мкм/с и
1000 мВт для раствора без добавок) добавки хлоридов металлов могут снизить
сопротивление медных дорожек до трех раз (см. таблицу 3).
По результатам исследования видно, что хлорид алюминия имеет
отличное от остальных исследованных добавок влияние.
При осаждении из раствора с добавками хлорида алюминия происходит
увеличение скорости реакции (рис. 23), при этом по данным EDX алюминий
отсутствует в осадке.
Добавки CaCl2, CoCl2, NiCl2 и ZnCl2 уменьшают скорость осаждения (рис.
23) и включаются в осадки (рис. 20 и 30). По данным рентгенодифракционного
анализа не удалось обнаружить, в каком виде Ca, Co и Ni содержатся в осадках
(рис. 34). На дифрактограмме дорожек, осажденных из раствора с добавками
хлорида цинка, присутствует оксид цинка.
При повышении скорости движения подложки с 10 мкм/с до 30 мкм/с
удельное сопротивление дорожек, осажденных из раствора без добавок при
1000 мВт, возрастает примерно в 25 раз.
Дорожки, осажденные на той же скорости имеют наименьшее
сопротивление при концентрации добавки 0,0003 M для всех хлоридов
металлов в изученном диапазоне концентраций