|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Нанокристаллы кремния в кремнийсодержащих матрицах: оптические и электрические свойствадипломная работа (Специалист)
- Научный руководитель: Заботнов С.В.
- Автор: Шулейко Дмитрий Валерьевич
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2014
- Аннотация: В дипломной работе Д.В. Шулейко поставлена задача исследования влияния нанокристаллической фазы кремния на оптические и электрические свойства тонких слоев на основе аморфного кремния, нитрида и оксида кремния. К наиболее важным и обладающим научной новизной результатам работы можно отнести следующие: 1. Показано, что проводимость аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллами, возникшими в процессе облучения фемтосекундными лазерными импульсами, больше на 3 порядка по сравнению с необлученной областью за счет нанокристаллизации и дегидрогенизации, что обосновывает перспективность использования таких структур в качестве основы солнечных элементов нового поколения. 2. Обнаружена анизотропия проводимости аморфного кремния, подвергнутого облучению фемтосекундными лазерными импульсами, за счет возникновения периодического рельефа на микромасштабах в результате такой обработки. 3. Обнаружен эффект гистерезиса вольтамперной характеристики многослойных пленок на основе оксида и нитрида кремния, наиболее вероятно связанный с их емкостными и резистивными параметрами. 4. В многослойной пленке из нитрида кремния, отожженной при 1150°С обнаружен эффект переключения по проводимости на 2 порядка, наиболее вероятно связанный с процессами туннелирования электронов между нанокристаллами кремния. 5. Показано, что измерения спектров фотолюминесценции образцов дают возможность контроля как размера нанокристаллов кремния, так и толщин слоев многослойных пленок, изготавливаемых методом плазмохимического осаждения из газовой фазы с последующим отжигом.
- Добавил в систему: Заботнов Станислав Васильевич