|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
«Модификация свойств структуры «кремний-на-сапфире» методом ионной имплантации»дипломная работа (Специалист)
- Научные руководители: Патракеев А.С., Черныш В.С.
- Автор: Балакшин Ю.В.,
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Год защиты: 2011
- Аннотация: Работа посвящена изучению влияния параметров ионной имплантации на процесс модификации структур «кремний-на-сапфире».
- Добавил в систему: Черныш Владимир Савельевич