|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Плазмохимические методы травления в современной микроэлектронике. Атомно-слоевое травление.курсовая работа (Бакалавр)
- Научный руководитель: Зотович А.И.
- Автор: Сухов Вадим Александрович
- Тип: Бакалавр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
- Год защиты: 2019
- Курс: 2
- Добавил в систему: Зотович Алексей Иванович