|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Химическое осаждение тонких пленок CaF2 из металлорганических прекурсоровкурсовая работа (Специалист)
- Научный руководитель: Цымбаренко Д.М.
- Автор: Лоскутова Софья Павловна
- Тип: Специалист
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра неорганической химии
- Год защиты: 2016
- Курс: 1
- Аннотация: Фториды щелочноземельных элементов обладают уникальными физико-химическими свойствами, благодаря которым используются в оптике для изготовления оптоволоконных кабелей, антиотражающих покрытий, лазеров. В настоящее время фториды ЩЗЭ получают и используют в виде керамики, нанопорошков и тонких пленок. В синтезе этих материалов особое место занимают химические методы, основанные на образовании фторидов ЩЗЭ при разложении металлорганических прекурсоров (исходных соединений). Металлорганические прекурсоры представляют собой координационные соединения ЩЗЭ с органическими фторсодержащими лигандами. Наличие фтора в этих соединениях обеспечивает преимущественное образование фторида ЩЗЭ по отношению к оксидам и карбонатам в условиях их термодинамической устойчивости (низкие температуры) и исключает использование таких фторирующих агентов как F2 и HF, обычно применяемых в синтезе фторидных материалов. Тонкие пленки фторидов ЩЗЭ можно получить методом химического осаждения из растворов. Суть этого метода состоит в получении металлорганического прекурсора — раствора комплекса фторпроизводного металлорганического соединения с нейтральным донорным лигандом (например моноэтаноламином) — с последующим нанесением на подложку и отжигом, сначала при низкой температуре(130-135°С) до образования геля, затем при высокой(до 1000°С) до термического разложения геля с образованием фторида металла. Известно, что нейтральные донорные лигандны повышают растворимость фторпроизводных металлорганических соединений в органических растворителях и предотвращают их кристаллизацию при невысоких температурах. В качестве подложки используется монокристаллический кремний, так как параметры решетки кремния совпадают с параметрами фторидов ЩЗЭ, что способствует росту кристаллов. Целью работы является отработка методики нанесения тонких пленок фторидов ЩЗЭ на примере кальция методом Химического осаждения из растворов координационных соединений. Для достижения цели в работе проведен синтез прекурсоров, изучение их термического поведения и применение для осаждения тонких пленок.
- Добавил в систему: Цымбаренко Дмитрий Михайлович