Аннотация:В работе разрабатывается методика измерения аморфных слоев оксида иттрия с помощью метода растровой электронной микроскопии. Для этого получена градуировочная зависимость, опирающаяся на стандарты, толщины которых измерены прямым методом растровой электронной микроскопии.