|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Физические процессы в технологическом плазменном реакторе для магнетронного напыления функциональных покрытий с ионным стимулированиемдиссертация
- Научный руководитель: Кралькина Елена Александровна
- Автор: Никонов Александр Михайлович
- Дата защиты: 12 сентября 2019 года в 16:30
- Шифр диссертационного совета: МГУ.013.7(01.12)
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.08 - Физика плазмы
- Тип диссертации: Кандидатская
- Организация, в которой выполнялась работа: физический факультет МГУ
- Оппоненты: Скворцова Нина Николаевна, Попов Олег Алексеевич, Лебедев Юрий Анатольевич
-
Аннотация:
Диссертация посвящена комплексному, систематическому экспериментальному исследованию пространственного распределения параметров плазмы и высокочастотных полей в индуктивном высокочастотном разряде с внешним магнитным полем, индукция которого не превышает 100 Гс, а также в комбинированном разряде на основе указанного разряда и разряда постоянного тока.
- Добавил в систему: Карташов Игорь Николаевич
- Результаты диссертации получены в рамках проектов:
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Отзыв официального оппонента | Скворцова Н.Н. | otzyiv_opponenta_Skvortsovoj.pdf | 5,0 МБ | 11 сентября 2019 |
| 2. | Отзыв официального оппонента | Попов О.А. | otzyiv_opponenta_Popova.pdf | 6,1 МБ | 11 сентября 2019 |
| 3. | Отзыв официального оппонента | Лебедев Ю.А. | otzyiv_opponenta_Lebedeva.pdf | 475,9 КБ | 11 сентября 2019 |
| 4. | Отзыв на автореферат | Гавриков А.В. | Otzyiv_Gavrikova.pdf | 787,6 КБ | 11 сентября 2019 |
| 5. | Отзыв на автореферат | Завьялов И.Н. | Otzyiv_Zavyalova.pdf | 2,0 МБ | 11 сентября 2019 |
| 6. | Отзыв на автореферат | Киреев В.Ю. | otzyiv_Kireev.pdf | 1,5 МБ | 11 сентября 2019 |
| 7. | Отзыв на автореферат | Хартов С.А. | Otzyiv_Hartova.pdf | 2,9 МБ | 11 сентября 2019 |
| 8. | Заключение диссертационного совета по диссертации | zaklyuchenie_soveta_Nikonov.pdf | 301,5 КБ | 17 сентября 2019 | |
| 9. | Автореферат | NikonovAM.pdf | 1,6 МБ | 25 июня 2019 | |
| 10. | Полный текст диссертации | NikonovAM_diss.pdf | 4,6 МБ | 25 июня 2019 | |
| 11. | Отзыв научного руководителя/консультанта | nauch.ruk..PDF | 192,5 КБ | 25 июня 2019 | |
| 12. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | priem_k_zaschite.pdf | 45,7 КБ | 25 июня 2019 | |
| 13. | Сведения о научном руководителе | svedeniya_o_nauchnom_rukovoditele.pdf | 265,0 КБ | 25 июня 2019 | |
| 14. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | svedeniya_ob_opponentah_Nikonov.pdf | 347,6 КБ | 25 июня 2019 |