ИСТИНА

Диссертационная работа посвящена экспериментальному исследованию наноструктурированных поликристаллических алмазных пленок и включает в себя разработку методов получения и модификации таких материалов, а также анализ их структурно-морфологических характеристик. В качестве основного метода получения алмазных пленочных материалов использовалась методика плазмохимического осаждения из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока. В ходе работы была определена зависимость фазового состава и структурных особенностей пленок от концентрации метана в газовой смеси, напряжения и тока разряда, температуры подложки и способа ее обработки перед осаждением. Параметры плазмы газового разряда, из которой проводилось осаждение пленок, контролировались с помощью оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС). Анализ состава, структуры и морфологии полученных материалов проводился с помощью растровой электронной микроскопии (РЭМ) в сочетании с методами комбинационного рассеяния света (КРС) и термогравиметрии (ТГ) и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Предложены эмпирические модели, позволяющие объяснить формирование пленок различного фазового состава. Разработаны численные модели роста и окисления поликристаллических алмазных пленок на основе механизма конкурентного роста.