Вернуться к списку оборудования

Измерительно-диагностическая система на основе сканирующего зондового микроскопа

Входит в состав Оборудование для электронно-оптических исследований материалов
Краткое название: AIST-NT
Тип: Микроскопы
Подразделение: Физический факультет
Начало эксплуатации: 19 декабря 2011
Идентификатор: 10358797

Технические характеристики: 1. Сканирующий зондовый микроскоп. Технические характеристики: 1) возможность измерения образца: 40 мм в диаметре и 15 мм в высоту; 2) тип сканирования: неподвижный зонд; 3) диапазон измерений по осям XYZ: 100 мкм, по оси Z: 12 мкм; 4) нелинейность по осям XY: 0.03%, по оси Z: 0.04%; 5) ненагруженная резонансная частота сканера по осям XY: 7 кГц; 6) ненагруженная резонансная частота сканера по оси Z: 14 кГц; 7) предел допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям XY: ±0.5%; 8) предел допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z: ±0.5%; 9) методика сканирующего зондового микроскопа: контактная, полуконтактная и бесконтактная атомно-силовая микроскопия (а.-с. м.); 10) а.-с. м. латеральных сил: наличие; 11) а.-с. м. токов растекания: трех программно переключаемых диапазонов по току суммарно не хуже чем от 100 фА до 10 мкА, диапазон по напряжению от -10 до +7 В; 12) а.-с. м. зонда Кельвина: разрешение 3 мВ; 13) магнитно-силовая микроскопия: латеральное разрешением 70 нм; 14) электро-силовая микроскопия: разрешение 5 мВ; 15) сканирующая емкостная микроскопия: наличие; 16) измерение силовых кривых: наличие; 17) нанолитография: наличие; 18) наноманипуляции: наличие; 19) измерение в режиме сдвиговых сил: наличие; 20) размеры образца: 40 мм в диаметре и 15 мм в высоту; 21) тип сканирования: неподвижный зонд; 22) диапазон сканирования: по осям XY: 100 мкм, по оси Z: 12 мкм; 23) нелинейность сканирования: по осям XY: 0.03%, по оси Z: 0.04%; 24) максимальная масса образца: 100 г; 25) ненагруженная резонансная частота по осям XY: 7 кГц; 26) ненагруженная резонансная частота по оси Z: 14 кГц; 27) предел допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по осям XY: 0.5%; 28) предел допускаемой основной относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z: 0.5%; 29) оптический доступ: возможность одновременной установки объективов (планапохроматов) сверху (с числовой апертурой 0.27) и сбоку (с числовой апертурой 0.41); 30) доступ к зонду СЗМ: свободный доступ для возможности подвода дополнительных внешних зондов; 31) длина волны лазера: 1200 нм; 32) шум регистрирующей системы: 0.03 нм; 33) позиционирование зонда и фотодиода: полностью моторизованное и автоматизированное; 34) разрешение настройки зонда: 1 мкм; 35) настройка лазера и фотодиода: автоматизированная; 36) точность позиционирования после смены зонда: ±10 мкм; 37) компенсация нелинейностей сканирования: активное устранение задержки по фазе по осям XY при различных скоростях сканирования, отсутствие переколебаний по быстрому направлению сканирования, наличие цифровой фильтрации резонансных частот сканера при управляющих напряжениях (для уменьшения времени стабилизации по оси Z); 38) позиционирование образца: моторизованное позиционирование образца по осям XY; 39) диапазон позиционирования образца: 5 мм по каждой из осей XY; 40) точность позиционирования: 1 мкм; 41) система активной виброзащиты (виброизолирующий стол): наличие; 42) держатель для кварцевого резонатора; наличие. 2. Оптическая система наблюдения за зондом и образцом. Технические характеристики: 1) область обзора: возможность наблюдения за положением кантилевера и образца; 2) диапазон позиционирования под объективом (для точного выбора области сканирования): 12х12 мм; 3) кратность объектива: 10Х; 4) числовая апертура объектива: 0.27; 3. Сменный блок для работы в режиме сканирующей туннельной микроскопии. Технические характеристики: 1) методика сканирующего зондового микроскопа: измерение вольт-амперных характеристик в режиме сканирующая туннельная микроскопия. 4. Жидкостная ячейка. Технические характеристики: 1) габариты: 40х40х12мм; 2) размер образца: 2 мм высотой и до 25 мм в диаметре; 3) нагрев: до температуры 60°С; 4) охлаждение: до температуры чем на 5°С ниже комнатной; 5) точность поддержания температуры: 0,01°С; 6) диапазон позиционирования образца: 3 мм по каждой из осей XY; 7) точность позиционирования образца: 1 мкм; 8) режимы работы: с протоком жидкости, без протока жидкости.
Расписание:

Понедельник-пятница с 10:30 до 13:00, с 14:00 до 17:00.

Адрес:

119991, Москва Ленинские горы, д. 1, строение 2, лаборатория криоэлектроники, комната П-73.

Список ответственных за данное оборудование: Список зарегистрированных ответственных за оборудование комплекса: