Ускорительный комплекс на энергии до 500 кэВ Краткое название: HVEE-500 Тип: Комплексы научного оборудования Подразделение: Лаборатория ионно-пучковых нанотехнологий Начало эксплуатации: 1 января 2009 Идентификатор: 60035972

---

Технические характеристики: Ускорительный комплекс на энергию до 500 кэВ, позволяет получать пучки различных типов ионов в различных зарядовых состояниях. Экспериментальные линии позволяют как создавать объекты нанометрового масштаба, так и анализировать состав и структуру мишени под действием пучков заряженных частиц. Высоковольтный терминал состоит из источника ионов (газовый SO-45, твердотельный SO-55, дуоплазмотрон); системы предускорения на 30 кВ с шагом 10 кВ; системы фокусирующих линз; сепарирующего магнита с дисперсией dM/M=500, заворачивающего пучок ионов массой до 250 на 90 градусов; настраиваемых щелей для коллимации пучка. Ускорительная система состоит из системы энергообеспечения и каскадного умножителя создающих разность потенциалов в 470 кВ, что в совокупности с предускоряющим напряжением дает 500 кВ. Величина пульсаций находится на уровне 10^-3 Вакуумная и электронная стойка терминала включают вакуумное оборудование для создания, поддержания и контроля высокого вакуума, систему мониторирования пучка, квадрупольную триплетную линзу и чашу Фарадея. Поворачивающий пучок в выбранную линию магнит создает поле до 13 кГаусс, имеет 5 выходов для экспериментальных линий (-30,-15,0, 15, 30 градусов) 4 экспериментальные линии позволяют создавать и исследовать объекты нанометрового масштаба за счет эффектов внедрения ионов, обратного резерфордовского рассеяния, распыления мишени. Линия резерфордовского обратного рассеяния позволяет проводить ионную имплантацию в мишени, а также не нарушая условий вакуума (in-situ) проводить исследования мишеней с помощью методики РОР в сочетании с каналированием. Полупроводниковый детектор позволяет проводить анализ состава и структуры материалов с нанометровым разрешением по глубине и большой чувствительностью по концентрации. Линия ионной имплантации позволяет внедрять ионы в мишени диаметром до 150 мм с большой точностью по дозе. Линия спектроскопии ионов средних энергий позволяет проводить анализ состава и структуры тонкопленочных мишеней в условиях сверхвысокого вакуума в сочетании с каналированием. Тороидальный электростатический анализатор позволяет получить разрешение по глубине на уровне двух монослоев (4-6 ангстрем), что соответствует субнанометровому масштабу. Линия по распылению мишеней под действием ионных пучков ориентирована на изучение эффекта распыления в условиях сверхвысокого вакуума в среднем энергетическом диапазоне (50-500 кэВ). Специально разработанная коллекторная методика позволяет изучать угловые распределения распыляемых мишеней. Расписание: http://beam.sinp.msu.ru/

Список ответственных за данное оборудование:

• Научный руководитель, Черныш Владимир Савельевич, тел. (495) 939 29 89
• Ответственный за эксплуатацию, Балакшин Юрий Викторович,
• Ответственный за эксплуатацию, Назаров Антон Викторович,
• Ответственный за эксплуатацию, Евсеев Александр Павлович,
• Научный руководитель, Шемухин Андрей Александрович,

В состав комплекса входит следующее оборудование:

Тип	Название
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Установка для исследования объектов при воздействии широкого диапазона температур (165-2022)
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Монолитная весоизмерительная система (0653-44-2023)
Испытательные стенды и установки	Комплекс оборудования для ускорительного комплекса МГУ (0262-44-2022 0377-44-2022 0997-44-2022 0354-44-2022)
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Комплект высоковакуумной откачки Highvac
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Блок высоковольтный +40 кВ 5 мА
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Пикоамперметр Keithley
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Система турбомолекулярная безмасляной откачки
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Трех-координатный позиционер 8МТ
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Установка УСУ-4
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Блок управления ламп.+источник питания
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Прецизионный высоковольтный источник питания Stanford Research Systems PS350
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Лабораторный источник питания 140В 15А ИБТ1415
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Электростатический генератор (HVEE500)
Другие анализаторы и регистраторы	Сепарирующий магнит 90град 1-250amu
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Мотор-генератор источник питания терминала
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Источник ускоряющей разности потенциалов 0-470 кВ, высокочастотный генератор с умножающей колонной
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Modular System Bin ORTEC 4001A
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Источник ионов газовый HVEE SO45
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Манипулятор образцов для ультравысокого вакуума
Камеры	Система шлюзовой загрузки образцов с высоковакуумной предварительной откачкой
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Электростатический ускоритель частиц ЭГ-2.5
Камеры	Вакуумная камера с терморегуляцией в комплекте для модернизации вакуумной системы ускорительных комплексов НИИЯФ (1555-44-2020)
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Неразрывно связанный комплекс научно-лабораторного оборудования для вакуумной системы ускорительных комплексов НИИЯФ МГУ (1561-44-2020)
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Неразрывно связанный комплекс научно-лабораторного оборудования для модернизации ускорительной системы и системы детектирования ускорительных комплексов НИИЯФ МГУ (1554-44-2020)
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Установка для исследований объектов при воздействии механических колебаний (106-2022)
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Блоки для каскадного генератора (контракт № 0518-44-2022)
Камеры	Высоковакуумная камера UNIVEX
Другие спектрометры	Ионный спектрометр
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Автоматизированный блок системы управления источником ионов
Регистраторы	Детектор альфа-частиц
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Комплект бесперебойного питания APC Back-UPS RS
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Лабораторный источник питания 400В 2А ИБТ4002
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Блок высоковольтный системы предускорения и фокусировки пучка 0-30кВ 3шт
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Оптическая система управления терминалом ускорителя fibre optic telemetry sys. HVEE
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Источник ионов твердотельный HVEE SO55
Другие спектрометры	Тороидальный электростатический анализатор
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Интегратор тока HVEE 10нА-3А 4шт
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Масс-калькулятор HVEE
Ускорители частиц и источники фотонного и нейтронного излучений на базе ускорителей	Ускоритель заряженных частиц КГ-500
Камеры	Высоковакуумная напылительная установка
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Вычислительная система управления, сбора, хранения и обработки данных для ускорителя тяжёлых ионов HVEE-500 (0959-44-2022)

Научные работы: