Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018журнал

Статьи, опубликованные в журнале

---

• 
  • 2019 Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
  • Rogozhin Alexander E., Miakonkikh Andrey V., Tatarintsev Andrey A., Rudenko K.V.
  • в журнале Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, том 11022, с. 1102222 DOI