|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Способ плазмохимического удаления органических соединений с поверхности полупроводниковых пластин.патент
- Авторы: Воробьёв В.В., Кондаков М.И., Маляров А.В., Мартынова Т.С., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- Номер: А.С. СССР № 1429842, H01L 21/306
- Дата публикации патента: 25 сентября 1986 г.
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич